Chiaro

虽然与MCA类似，但Chiaro的涡轮分子压力和速度是有所不同的。 配置可安装的光学显微镜，以便在等离子处理期间观察样品，并在液体/气体样品中检测是否存在泄漏现象。 在低真空处理等离子可增加等离子的活性。 为了检测TEM杆中气体和液体样品是否存在泄露现象，Chiaro具备了检漏功能，不仅在安装时可观察气体/液体的电子晶片，还可测试表面的亲水度并处理等离子。

Key Features

• 无需组装
• 以40倍的光学显微镜观察TEM样品杆装载在可回转开的腔室盖中
• 在高真空下储存3个TEM样品杆
• 在<2e-5 Torr时对可能存在的气体/液体泄漏进行压力监测
• 将疏水表面变为亲水表面的等离子处理
• 等离子清洗样品备制前后的TEM样品杆
• 3位拨动开关（通气、开启、关闭）
• 触摸屏操作
• 在短短几分钟内实现多个SEM之间的切换，以便进行原位清洗
• 专门针对聚合物/有机样品的还原性气体混合物
• 可移动小推车，配置等离子体驱动气瓶